4. 经过氧化光刻平面化变成IC晶圆
将裸晶圆送到晶圆加工厂,放入高温炉中加热,使其表面表面生成一层二氧化硅膜;
光刻过程就是使用光在感光层中刻出相应的刻痕;
然后用化学或物理的方法在晶圆表面刻蚀成相应图形;
其次,还要对暴露在外的硅层通过化学方式进行掺杂离子轰击注入,生成N沟道/P沟道或源/漏。
在每层之间采用金属薄膜沉积和刻蚀技术获得层间的导电连接。
重复这些步骤,然后就出现了一个多层立体架构, 就是你目前使用的处理器的萌芽状态了。