3. 经过切割抛光变成裸晶圆
拉拨出来的单晶硅棒,首先需对其表面进行打磨,获得一个绝对的圆柱体;
而后将这个圆柱体硅锭切片,切片越薄,用料越省;
最后,再对单晶硅薄片精细打磨、去瑕除疵、质量检测等若干步骤,就得到所谓的裸晶圆(Raw Wafer)。